等離子體發(fā)生機理：對氣體施加足夠的能量使之離化成為等離子體，包括離子、電子、原子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素、光子等。直流等離子是通過施加直流電流產生電弧放電，激發(fā)通入的氣體，使其成為等離子體；直流等離子之外的常用等離子體激發(fā)頻率有3種：激發(fā)頻率為40kHz的等離子體為超聲等離子體，13.56MHz的等離子體為射頻等離子體，2.45GHz的等離子體為微波等離子體，如圖1所示。其中，射頻等離子是通過施加射頻范圍內的交流電壓產生輝光放電，激發(fā)通入的氣體，使其成為等離子體；微波等離子是通過微波高能電磁場激發(fā)通入的氣體，使其成為等離子體。
圖一 等離子激發(fā)頻率三種等離子清洗機頻率的區(qū)別：
激發(fā)頻率40kHz的等離子體為超聲等離子，發(fā)生反應為物理反應；自偏壓高，等離子體密度較低，離子能量高，容易產生較高的工藝溫度和不必要的濺射;
13.56MHz等離子體為射頻等離子體，發(fā)生反應為物理和化學反應；自偏壓偏低，等離子密度較高，離子能量較高;
頻率達到2.45GHz的等離子體為微波等離子體，離子濃度最高，無自偏壓，發(fā)生反應為化學反應，典型的工藝是氧氣或氫氣等離子體工藝。
粒子密度和能量與電場頻率的關系
下圖1是粒子能量和粒子密度隨電場頻率變化的關系，從圖中可以清晰地看出粒子密度與電源頻率成正比關系，而粒子能量與之相反與電源放電頻率成反比關系。當頻率為13.56MHz時粒子能量與粒子密度相對平衡。
粒子密度和能量與電場頻率的關系那么該如何選擇真空等離子清洗機的頻率呢？
射頻13.56MHz等離子清洗機兼具物理和化學清洗的作用，由于對基板表面有機層具有更強的清潔和粗化效果。
中頻40KHz等離子清洗機主要發(fā)生物理反應，適合表面需要刻蝕或者粗化的產品，對有機物的去除效果就不那么明顯了。
微波...
金徠技術
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