等離子清洗機的電源頻率主要有三種，分別是40kHz、13.56MHz和2.45GHz，它們在多個方面存在顯著的差別：
- 頻率和應(yīng)用場景：
- 40kHz：俗稱中頻電源，通常在5千瓦至20千瓦之間，被廣泛應(yīng)用于真空等離子清洗機設(shè)備中。其特點是能量高、密度低，穿透性較好，且生產(chǎn)成本較低。
- 13.56MHz：俗稱射頻電源，功率范圍一般在100瓦至1000瓦，常用于大氣等離子清洗機設(shè)備中。它的特點是等離子能量低，但等離子密度高，效果均勻，但成本稍高。
- 2.45GHz：這是微波等離子清洗機設(shè)備的頻率，但由于微波成本太高，目前應(yīng)用得較少。
- 自偏壓和反應(yīng)機制：
- 40kHz的超聲等離子體自偏壓為1000V左右，其發(fā)生的反應(yīng)主要是物理反應(yīng)，如表面除膠、毛刺打磨等處理。
- 13.56MHz的射頻等離子體自偏壓為250V左右，其發(fā)生的反應(yīng)既有物理反應(yīng)又有化學(xué)反應(yīng)。
- 2.45GHz的微波等離子清洗機自偏壓很低，只有幾十伏，且主要發(fā)生的反應(yīng)為化學(xué)反應(yīng)。
- 放電現(xiàn)象和工藝處理溫度：
- 在中頻等離子清洗機中，由于中頻電源直接輸出到電極板的電壓較高，其自偏壓也較高，這可能導(dǎo)致正離子的功率吸收增加，從而引起電極板的溫度升高。同時，由于離子吸收部分功率，用于電離的電子的功率吸收就相應(yīng)地減少，導(dǎo)致等離子體密度較低而離子能量較高。
- 射頻等離子清洗機的情況則有所不同。在射頻容性耦合方式的放電過程中，電極板產(chǎn)生的自偏壓受到放電氣壓的影響，但其中自偏壓較小。電子的功率吸收主要來自于與電極板表面的震蕩鞘層相互作用。因此，射頻等離子清洗機的激發(fā)頻率越高，電子的功率相對的也會越高，而離子轟擊的能量就會降低，這使得工藝處理過程中的溫度相對較低。
綜上所述，選擇哪種頻率的等離子清洗機電源取決于具體的應(yīng)用需求，包括處理材料、處理效果、成本預(yù)算等因素。
