在線真空等離子體清洗機專注于等離子體表面改性或等離子體表面處理應用。它利用等離子體的高能量和不穩(wěn)定性對被處理材料的表面進行清潔、活化和活化，附著力促進劑常用添加量從而改變表面的微觀結(jié)構、化學性質(zhì)和能量。等離子體與物體表面的相互作用可分為物理作用(離子轟擊)和化學作用。其物理化學反應機理是活性粒子轟擊被清理表面，使污染物從表面被清除，被真空泵吸出。其化學反應機理是各種活性顆粒與污染物發(fā)生反應，產(chǎn)生揮發(fā)性物質(zhì)，然后被真空泵吸出。

腐蝕性氣體等離子體具有優(yōu)良的各向異性，附著力促進劑的機理可以滿足刻蝕需要。等離子處理之所以稱為輝光放電處理，是因為它會發(fā)出輝光。 【真空等離子裝置】 等離子處理的機理主要依靠等離子中活性粒子的“活化”，達到去除物體表面污垢的目的。從反應機理來看，等離子清洗通常涉及以下幾個過程。

plasma冷等離子體作用下O2氧化CH4反應機理制取C2烴反應：plasma等離子體引發(fā)的自由基反應與非均相催化反應很相似，附著力促進劑的機理但plasma等離子體是十分有效的自由基引發(fā)方式。

　　其中，附著力促進劑常用添加量物理反響機制是活性粒子轟擊待清洗外表，使污染物脫離zui終被真空泵吸走；化學反響機制是各種活性的粒子和污染物反響生成易揮發(fā)性的物質(zhì)，再由真空泵吸走揮發(fā)性的物質(zhì)，然后到達清洗目的。 　　咱們的工作氣體，常常用到氫氣（H2）、氮氣（N2）、氧氣（O2）、氬氣（Ar）、甲烷（CF4）等。

附著力促進劑的機理

　2、激活鍵能，交聯(lián)效果：　等離子體中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的鍵能在0~10eV，因此等離子體效果到固體外表后，可以將固體外表的原有的化學鍵產(chǎn)生斷裂，等離子體中的自由基與這些鍵構成網(wǎng)狀的交聯(lián)結(jié)構，大大地激活了外表活性。

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除了氣體分子、離子和電子之外，等離子體還包含被能量激發(fā)態(tài)激發(fā)的帶中性原子或原子團，這些能量激發(fā)態(tài)是自由基和從等離子體發(fā)射的光。等離子體在等離子體與物體表面的相互作用中起著重要作用。自由基，例如自由基，與表面反應。離子中的自由基具有很強的電學性質(zhì)，比離子存在的時間更長。在等離子體中，自由基是高度揮發(fā)性的，它們的功能主要是在化學反應過程中激活（化學）能量轉(zhuǎn)移。

附著力促進劑常用添加量