（1）化學(xué)反應(yīng)化學(xué)反應(yīng)中常用的氣體有氫氣(H2)、氧氣(O2)、甲烷(CF4)等，涂料附著力促進(jìn)劑的作用這些氣體在等離子體中反應(yīng)成高活性的自由基，方程是這些自由基會(huì)進(jìn)一步與材料表面發(fā)生反應(yīng)。其反應(yīng)機(jī)理主要是利用等離子體中的自由基與材料表面反應(yīng)。壓力較高時(shí)，有利于自由基的產(chǎn)生。因此，如果化學(xué)反應(yīng)是主要反應(yīng)，就需要控制較高的壓力來(lái)反應(yīng)。

其中，涂料附著力的作用機(jī)理物理反應(yīng)機(jī)理是活性粒子轟擊被清潔的外表，使外表的污染物最終被真空泵吸走;化學(xué)反應(yīng)機(jī)理是多種活性粒子與污染物反應(yīng)生成揮發(fā)性物質(zhì)，然后用真空泵吸出揮發(fā)性物質(zhì)，然后達(dá)到清洗的目的。

等離子處理機(jī)技術(shù)在橡塑行業(yè)產(chǎn)品上的作用機(jī)理等離子處理機(jī)和固體、液體或氣體一樣，涂料附著力促進(jìn)劑的作用是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)。對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的"活性"組分包括：離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子體表面處理儀就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、改性、光刻膠灰化等目的。

正丁烷在單純plasma等離子體作用下主要產(chǎn)物是C2H2，涂料附著力促進(jìn)劑的作用這源于C-C鍵的鍵能低于C-H鍵的鍵能，在大氣壓plasma等離子體作用下C-C鍵優(yōu)先斷裂形成CHx活性物種，其進(jìn)一步反應(yīng)優(yōu)先生成C2H2。。

涂料附著力促進(jìn)劑的作用

等離子發(fā)生器的優(yōu)點(diǎn) 1.一般來(lái)說(shuō)，負(fù)離子發(fā)生器是利用產(chǎn)生的負(fù)高壓電離空氣，產(chǎn)生大量的負(fù)離子，中和產(chǎn)生的少量負(fù)離子。對(duì)自然空氣中天然存在的陽(yáng)離子進(jìn)行滅菌。但自然界中天然存在的陽(yáng)離子數(shù)量很少，所以殺菌作用很小。因此，正負(fù)離子發(fā)生器等離子發(fā)生器的殺菌效果遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)負(fù)離子發(fā)生器。 & EMSP; & EMSP; 2、等離子發(fā)生器同時(shí)產(chǎn)生大量的負(fù)離子和正離子。負(fù)離子的數(shù)量遠(yuǎn)高于正離子的數(shù)量，因此正離子被負(fù)離子中和。

自由基在化學(xué)反應(yīng)過(guò)程中能量傳遞的“活化”作用，處于激發(fā)狀態(tài)的自由基具有較高的能量，易于與物體表面分子結(jié)合時(shí)會(huì)形成新的自由基，新形成的自由基同樣處于不穩(wěn)定的高能量狀態(tài)，很可能發(fā)生分解反應(yīng)，在變成較小分子同時(shí)生成新的自由基，這種反應(yīng)過(guò)程還可能繼續(xù)進(jìn)行下去，最后分解成水、二氧化碳之類的簡(jiǎn)單分子。

電暈等離子體處理器技術(shù)是一種新興的半導(dǎo)體制造技術(shù)。該技術(shù)在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域應(yīng)用較早，是必不可少的半導(dǎo)體制造工藝。因此，它是IC加工中一項(xiàng)長(zhǎng)期而成熟的技術(shù)。由于電暈等離子體處理器產(chǎn)生的等離子體是一種高能量、高活性材料，對(duì)任何材料都有很好的刻蝕效果，電暈等離子體處理器產(chǎn)生的等離子體采用干法制造，不會(huì)造成污染，因此近年來(lái)在半導(dǎo)體產(chǎn)品制造中得到了廣泛應(yīng)用。

等離子清洗等離子粒子吸附在物體表面，發(fā)生物理或化學(xué)反應(yīng)，物理反應(yīng)主要是以轟擊的形式使污染物脫離表面，從而被氣體帶走，通常使用Ar氣來(lái)進(jìn)行物理反應(yīng)；化學(xué)反應(yīng)是活性粒子與污染物發(fā)生反應(yīng)，生成易揮發(fā)物質(zhì)再被帶走，在實(shí)際使用過(guò)程中，使用O2或者H2來(lái)進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)。

涂料附著力的作用機(jī)理

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等離子清洗機(jī)主要適用于各種材料的表面改性。表面清洗、表面活化、表面蝕刻、表面接枝、表面沉積、表面聚合、等離子輔助化學(xué)氣相沉積等。