型號(hào) | JL-VM150 | |||
等離子源系統(tǒng) | 頻 率 | 13.56MHz 射頻 | 40KHz 中頻 | |
功 率 | 0~1000W可調(diào) | 0-5000W可調(diào) | ||
選 配 | ||||
真空系統(tǒng) | 真空腔體 | 材質(zhì) | 316L不銹鋼、航空鋁（選配） | |
腔體內(nèi)部尺寸（MM） | 500*600*500（寬高深) | |||
腔體容積 | 150L | |||
極板 | 17層，水平式，活動(dòng)可調(diào)節(jié) | |||
密封性 | 軍工級(jí)焊接密封 | |||
泵 | 泵組 | 油泵/干泵+羅茨泵組合（選配） | ||
真空管路 | 不銹鋼管、不銹鋼波紋管 | |||
真空計(jì) | 1×105~1×10-1Pa | |||
質(zhì)量流量計(jì) | ＜±1% FS | |||
氣路控制 | 2-4路處理氣體氣路，氣體流量可調(diào) | |||
極限真空 | 5Pa | |||
適用氣體 | 流量范圍 | 0-500SCCM（可調(diào)） | ||
工藝氣體 | Ar、N?、O?、H?等等（可選） | |||
控制系統(tǒng) | 1、PLC 自動(dòng)控制； | |||
2、7寸觸摸屏,圖形用戶界面； | ||||
3、配方程序?yàn)?nbsp;0~99； | ||||
4、多級(jí)權(quán)限操作； | ||||
5、圖形化曲線圖自動(dòng)監(jiān)測(cè)工藝參數(shù)狀態(tài)及錯(cuò)誤信息； | ||||
6、存儲(chǔ)工藝數(shù)據(jù)及錯(cuò)誤信息； | ||||
7、報(bào)警信息提示及追溯； | ||||
8、圖形化界面檢測(cè)處理參數(shù)； | ||||
9、自動(dòng)、手動(dòng)操作可切換； | ||||
10、維護(hù)提示緊急停止按鈕； | ||||
11、門感應(yīng)器和真空互鎖； | ||||
12、機(jī)器運(yùn)行信號(hào)指示； | ||||
13、機(jī)器運(yùn)行結(jié)束提示； | ||||
外觀參數(shù) | 外形尺寸(MM) | 850*1700*1020(寬高深） | ||
重 量 | 700KG | |||
設(shè)施配置 | 電 力 | 五線線三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設(shè)計(jì)規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設(shè)計(jì)規(guī)范》等國(guó)標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)規(guī)定 | ||
壓縮空氣 | 干燥壓縮空氣CDA | |||
其 它 | 提供操作手冊(cè)、維護(hù)手冊(cè)、安裝手冊(cè)，易損件備件清單. | |||
