在硅襯底上熱生長的SiO2薄膜經(jīng)過等離子清洗機(jī)的等離子表面處理，二氧化硅表面改性巰基提高了二氧化硅薄膜駐極體的穩(wěn)定電荷積累。有機(jī)高分子駐極體材料具有優(yōu)異的電荷儲存穩(wěn)定性，市面上的駐極體傳感器多為有機(jī)高分子駐極體薄膜傳感器。該傳感器雖然具有壽命長、薄膜型、成本低等優(yōu)點，但體積龐大的分立器件，無法滿足駐極體聲學(xué)傳感器小型化和集成化的要求。近年來，人們發(fā)現(xiàn)二氧化硅（SiO2）薄膜表現(xiàn)出優(yōu)異的駐極體性能。
等離子清洗機(jī)的等離子體是第四種不同于固體、液體和氣體的物質(zhì)形式。它由六種典型的粒子組成，二氧化硅表面改性巰基包括正離子、負(fù)離子、電子、激發(fā)分子和原子、基態(tài)分子或原子和光子。電漿清洗機(jī)，在工作中產(chǎn)生大量氧原子等氧基活性物質(zhì)。當(dāng)這些氧基等離子體噴射到材料表面時，它們可以與基材表面的有機(jī)污染物碳分子分離，成為二氧化碳后被去除。同時，有效提高了材料的表面接觸性能，增強(qiáng)了強(qiáng)度和可靠性。
RF等離子體（激發(fā)頻率，二氧化硅離子表面改性13.56MHz）包括物理化學(xué)雙反應(yīng)類型。 (2)工作氣體的種類也影響等離子清洗的種類。例如，通常采用Ar2、N2等形成的等離子體進(jìn)行物理清洗，通過沖擊對產(chǎn)品表面進(jìn)行清洗。反應(yīng)氣體 O2、H2 等等離子通常用于化學(xué)清潔，其中活性自由基與污染物（主要是碳?xì)浠衔铮┌l(fā)生反應(yīng)。它反應(yīng)形成小分子，如一氧化碳、二氧化碳和水，這些小分子會從產(chǎn)品表面去除。
然后用真空泵除去氣態(tài)污泥。2)氧:等離子體與樣品表面化合物反應(yīng)的化學(xué)過程。例如，二氧化硅表面改性巰基氧等離子體可以有效地去除有機(jī)污染物氧氣等離子體與污染物反應(yīng)產(chǎn)生二氧化碳，一氧化碳和水。一般來說，化學(xué)反應(yīng)在去除有機(jī)污染物方面效果更好。3)氫:氫可以用來去除金屬表面的氧化物。常與氬氣混合，以提高脫除率。人們通常擔(dān)心氫的可燃性，因為氫的用量很小。一個更大的擔(dān)憂是氫的儲存。我們可以用氫氣發(fā)生器從水中產(chǎn)生氫氣。
二氧化硅表面改性巰基
低溫等離子體中存在各種不斷運動和碰撞的粒子，它們都屬于非彈性碰撞，我們稱為等離子體元過程，即等離子體微觀過程，即等離子體微觀過程，如下表。等離子清洗機(jī)在包裝等離子涂覆工藝上的應(yīng)用:二氧化硅可以通過在氧等離子體中氧化硅蒸汽來獲得。陽極電弧工藝使用可消耗的金屬硅，放在熔爐中作為真空電弧的陽極。如果在金屬陰極和上述熔爐之間施加20~30V的DC電壓，只要陰極前面有蒸汽團(tuán)，陰極和陽極之間就會發(fā)生連續(xù)電弧放電。
元素發(fā)射的譜線數(shù)目、強(qiáng)度、形態(tài)和寬度等信息與物質(zhì)所處的物理狀態(tài)及物理參量，如溫度、壓力、粒子密度等具有密切關(guān)系。因而這試驗技術(shù)為我們提供了分析等離子體成分、含量、溫度和微觀運動機(jī)制的有效方法。通常情況下，以TEOS作為沉積源沉積二氧化硅薄膜的PECVD技術(shù)，一般認(rèn)為TBOS會發(fā)生如下的分解反應(yīng)：Si(OC2H)4(@) - SiO2(目+ 4C2H(2) + 2H2Og。
例如，在電子產(chǎn)品中，LCD/OLED屏幕的涂層處置、PC塑料架構(gòu)的粘合前處置、機(jī)殼和按鍵等零部件的表面噴油絲印、PCB表面的去膠、去污和清潔、鏡片膠粘貼前的處置、電線和電纜代碼噴涂前的處置、汽車工業(yè)燈罩、剎車片和門密封條的粘貼前處置；等離子清洗機(jī)提高材料表面的滲透能力，機(jī)械行業(yè)金屬零件的細(xì)微無害清洗處置、鏡片涂裝前的處置、各種工業(yè)材料的密封前處置、三維物體表面的改性處置等。。
可是，若采用等離子改性工藝實現(xiàn)清洗，弱化學(xué)鍵會很容易中斷，即使污染物質(zhì)殘余在非常復(fù)雜的幾何形狀表層，也會很容易被打斷。一般用天然橡膠、硅橡膠或PVC(PVC)材質(zhì)制作而成，考慮到材質(zhì)本身的生物相容性較差，對PVC材料實現(xiàn)等離子改性，以改進(jìn)其浸潤性，在PVC表層涂覆三氯生、溴硝醇?？蓺缂?xì)菌和抗菌劑的粘附，因此可減小病人在使用過程中因材質(zhì)而引起的感染，改進(jìn)材質(zhì)的生物相容性。
二氧化硅離子表面改性
紅外光譜（FT-IR）和X射線光電子能譜（XPS）表明，二氧化硅表面改性巰基改性PTFE表面具有羥基、羰基、羧基等活性基團(tuán)，提高了PTFE表面的粘合性能。這種處理方法雖然可以獲得較好的表面改性效果，但屬于需要處理大量廢液的濕化學(xué)處理，操作危險，對環(huán)境和人體危害很大。棕色和黑色。低溫等離子清洗設(shè)備的處理就是用等離子對其表面進(jìn)行處理。等離子清洗機(jī)是一種干法工藝，可在不產(chǎn)生污染物的情況下節(jié)省能源。
