等離子清洗機(jī)顧名思義就是利用等離子來進(jìn)行清洗的一種機(jī)器，什么是等離子體？等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài)。物質(zhì)通常以三種狀態(tài)存在：固態(tài)、液態(tài)和氣態(tài)，但在某些特殊情況下，它可以以第四種狀態(tài)存在，例如太陽表面的物質(zhì)和地球大氣層電離層中的物質(zhì)。這種物質(zhì)的狀態(tài)稱為等離子體狀態(tài)，也稱為物質(zhì)的第四狀態(tài)。等離子體中存在以下物質(zhì)：；高速運(yùn)動(dòng)的電子；處于激發(fā)態(tài)的中性原子、分子和原子團(tuán)（自由基）；電離原子和分子：分子解離反應(yīng)過程中產(chǎn)生的紫外光；未反應(yīng)的分子、原子等，但該物質(zhì)整體上保持電中性。等離子清洗機(jī)就是利用等離子體中的活性粒子來對物體表面進(jìn)行清潔?；钚粤Ｗ訒?huì)與表面的有機(jī)物或者氧化物等發(fā)生化學(xué)反應(yīng)進(jìn)而生成易于揮發(fā)的物質(zhì)可以被真空泵排出反應(yīng)腔體達(dá)到清洗物體表面的效果。
等離子清洗機(jī)能清洗什么？
等離子清洗是一種很微觀層面的清潔，清洗是在微米納米級別，用肉眼是看不出來經(jīng)過等離子清洗和沒有經(jīng)過等離子清洗的產(chǎn)品有什么差別。
等離子清洗機(jī)的清洗方式主要有兩種，一種是靠化學(xué)反應(yīng)清洗，另一種是靠物理濺射清洗。
等離子清洗工藝是直接把高能等離子體流施加到被清洗表面以達(dá)到等離子體清洗的目的。選擇不同的氣體種類和配比,可以滿足很多等離子體清洗的要求。例如:用氧氣等離子體可以使有機(jī)物沉積被氧化掉;用惰性的氬氣等離子體可以使顆粒污染被機(jī)械地沖洗掉，用氫氣等離子體可以消除金屬表面氧化,等等。
等離子清洗機(jī)清洗的一些具體應(yīng)用
應(yīng)用等離子體清洗金屬、陶瓷和塑料表面的有機(jī)物,可以大大增強(qiáng)了這些材料表面的附著力和鍵合力。隨著對這門技術(shù)的研究的不斷深人，其應(yīng)用已越來越廣泛。在電子領(lǐng)域,可用此技術(shù)做混合電路、PCB板、SMT、BGA、導(dǎo)線框和平板顯示器的清洗和刻蝕;在醫(yī)療領(lǐng)域也要應(yīng)用此種技術(shù)來改善各種導(dǎo)管、超細(xì)導(dǎo)管、過濾器、傳感器等醫(yī)療設(shè)置的光滑度、沾濕性等關(guān)鍵指標(biāo)。
等離子清洗機(jī)的常見應(yīng)用
在大規(guī)模集成電路和分立器件行業(yè)中，等離子清洗一般應(yīng)用于以下幾個(gè)關(guān)鍵步驟中:
1、去膠,用氧的等離子體對硅片進(jìn)行處理,去除光刻膠;
2、金屬化前器件襯底的等離子體清洗;
3、混合電路粘片前的等離子體清洗;
4、鍵合前的等離子體清洗;
5、金屬化陶瓷管封帽前的等離子體清洗。2469624696