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等離子體設備便是使用這類特異性成份對樣品表面進行處理,以達到潔凈、涂布等目的。 等離子體設備按汽體可分為特異性汽體和非特異性汽體等離子體:根據(jù)產(chǎn)生等離子體時運用的汽體的化學性質(zhì),氬氣(Ar)、N2、氟化氮(CF4)、四氟化碳(CF4)、空氣等不特異性汽體有不同的反應機理,但特異性汽體等離子體的化學反應特異性較高。氣態(tài)、等離子體設備用來清洗的污染物也應有不同的選擇。

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離子間碰撞達到熱力學平衡的溫度為Ti,廣東真空等離子體處理機廠家即離子溫度,在實際情況中Te與Ti一般是不同的。當在接近于大氣壓的高氣壓條件下進行放電,那么電子、離子、中性粒子會通過激烈碰撞而充分交換動能,從而使等離子體達到熱平衡狀態(tài),電子溫度和離子溫度相近,屬低溫等離子體中的熱等離子體。而等離子體清洗機在真空低壓環(huán)境中產(chǎn)生的等離子體,常常處于非熱平衡狀態(tài),電子溫度遠大于離子溫度,屬低溫等離子體中的冷等離子體。

低溫等離子設備主要由等離子發(fā)生器、氣管、等離子槍等組成。低溫等離子設備形成高壓高頻能量,廣東真空等離子體處理機廠家在噴嘴鋼管上激活并控制電弧放電形成低溫等離子設備。等離子體通過壓縮空氣噴灑在工件表層。在低溫等離子設備遇到處理表層時,會發(fā)生物理化學變化,表層清潔。但碳化氫污物外,如油脂、輔助添加劑等。根據(jù)材料成分,其表層分子鏈結(jié)構(gòu)發(fā)生了變化。建立了自由基團,可以促進各種涂層材料的粘接,優(yōu)化粘接和油漆的使用。