等離子體中的電子從電場(chǎng)中獲取能量，表面活化劑的實(shí)質(zhì)作用轉(zhuǎn)化為自由的高能電子，與氣體中的原子和分子碰撞，產(chǎn)生激發(fā)和電離，產(chǎn)生激發(fā)分子，但原子、離子和自由基非常不穩(wěn)定.化學(xué)反應(yīng)它具有很強(qiáng)的性質(zhì)，容易發(fā)生通常不可能發(fā)生的反應(yīng)，導(dǎo)致新化合物和加工材料失重。在此過(guò)程中，表面層被蝕刻以產(chǎn)生新的性能（例如減重、吸濕、加深、粘合等）或交聯(lián)、接枝和聚合。等離子氣體和普通氣體具有非常不同的性質(zhì)。

低溫等離子體表面活化系統(tǒng)是一種對(duì)固體表面層進(jìn)行處理的干洗方法，表面活化劑的實(shí)質(zhì)作用新產(chǎn)品將潔凈的工作氣體活化成等離子體，然后與物體表面層接觸，形成有機(jī)化學(xué)或物理反應(yīng)，達(dá)到實(shí)際的清洗效果。它是超凈領(lǐng)域的高端清洗，主要清洗非常細(xì)小的氧化性物質(zhì)和污染物，通常是最后的清洗過(guò)程。

為了對(duì)比在等離子清洗機(jī)表面處理前后的親水效果，磷化常用的表面活化劑有我們挑選了片材、薄膜等幾種樣品進(jìn)行了處理，相關(guān)數(shù)據(jù)如下：3-1純PTFE聚四氟乙烯片材等離子處理前后的水滴角對(duì)比3-2陶瓷填充PTFE聚四氟乙烯薄膜等離子處理前后的水滴角對(duì)比3-3石墨填充PTFE聚四氟乙烯薄膜等離子處理前后的水滴角對(duì)比。等離子體是由離子、電子和中性粒子組成的一種呈現(xiàn)電中性物質(zhì)集合體。

等離子體清洗設(shè)備中氧等離子體對(duì)AlGaN/GaN HEMT表面處理的影響；氮化物（GaN）是一種寬禁帶半導(dǎo)體材料，表面活化劑的實(shí)質(zhì)作用以其良好的物理、化學(xué)和電學(xué)性能成為目前研究最多的半導(dǎo)體材料。它是繼第一代半導(dǎo)體材料硅（Si）和第二代半導(dǎo)體材料砷化物(GaAs)、磷化物（GaP）和磷化銅（InP）之后迅速發(fā)展起來(lái)的第三代半導(dǎo)體材料。

表面活化劑的實(shí)質(zhì)作用

plasma清洗設(shè)備氧等離子體對(duì)AlGaN/GaN HEMT表面處理的影響：寬禁帶半導(dǎo)體材料氮化稼(GaN)，以其良好的物理化學(xué)特性、電學(xué)特性成為目前研究多的半導(dǎo)體材料，它是繼一代半導(dǎo)體材料硅(Si)和第二代半導(dǎo)體材料砷化嫁(GaAs)、磷化嫁(GaP)、磷化銅(InP)等之后迅速發(fā)展起來(lái)的第三代半導(dǎo)體材料。

等離子體清洗機(jī)技術(shù)的典型應(yīng)用有：半導(dǎo)體/集成電路；氮化鎵；氮化鋁/氮化鎵；砷化鎵/砷化鋁鎵；砷化鎵；磷化銦，鎵/銦鎵（InPingGaAs/InAlAs）；硅；硅鍺；硅化硅陶瓷(Si3N4)；硅的溴化氫；硒化鋅；鋁；鉻；鉑金；鉬；鈮；銦；鎢；氧化銦錫；鈦酸銦鉛；塑料/高分子材料；聚四氟乙烯；聚甲醛；聚苯并咪唑；聚醚醚酮；聚酰胺(PFA)；聚酰胺(PFA)；聚酰胺等。。

大氣直噴等離子體表面處理設(shè)備可與機(jī)械自動(dòng)化生產(chǎn)線配套使用。在低溫等離子體中，由于各種元件具有高效能的活化作用，質(zhì)量好的等離子體表面處理設(shè)備廠家可以去除附著在材料表面的污漬。。適合單晶硅晶圓級(jí)和3D芯片封裝應(yīng)用。等離子體應(yīng)用包括除灰、灰化/光誘導(dǎo)防腐劑/聚合物剝離、介質(zhì)腐蝕、芯片膨脹、有機(jī)物去除和芯片脫模。

等離子清洗機(jī)就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔的目的； 等離子清洗機(jī)活化功能：當(dāng)?shù)入x子體與被處理物體表面相遇時(shí)，使材料表面產(chǎn)生了化學(xué)變化和物理作用，其表面分子鏈結(jié)構(gòu)得到了改變，建立了羥基、羧基等自由基團(tuán)，這些基團(tuán)對(duì)各種涂敷材料具有促進(jìn)其粘合的作用，在粘合和油漆應(yīng)用時(shí)得到了優(yōu)化。

磷化常用的表面活化劑有

環(huán)境工程污水的三種低溫等離子處理方法利用低溫等離子技術(shù)處理環(huán)境工程污水，磷化常用的表面活化劑有在高能電子發(fā)射、臭氧氧化、紫外線分解的綜合作用下，可以達(dá)到更好的處理效果。高能電子作用：冷等離子體技術(shù)在污水處理過(guò)程中產(chǎn)生大量高能電子。與廢水中的原子和分子碰撞，將能量轉(zhuǎn)化為基質(zhì)分子的內(nèi)能，通過(guò)激發(fā)、分解、電離等多個(gè)過(guò)程被激活。廢水。通過(guò)破壞廢水中的分子鍵并與游離氧和臭氧等反應(yīng)物反應(yīng)形成新化合物。

在大氣壓非平衡等離子體的作用下，表面活化劑的實(shí)質(zhì)作用C2H6在CO2氣氛中進(jìn)行氧化脫氫，生成C2H2和C2H4。以CeO2/Y-Al203為催化劑，在973K的反應(yīng)溫度下可以進(jìn)行CH6的脫氫，反應(yīng)溫度和反應(yīng)氣相比對(duì)反應(yīng)結(jié)果影響較大。在等離子體和催化劑共活化CO2氧化C2H6時(shí)，催化劑性能對(duì)反應(yīng)有明顯的影響。金屬氧化物催化劑有利于乙烷轉(zhuǎn)化為C2H2和C2H4，金屬催化劑可以提高產(chǎn)物中C2H4的比例。。