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等離子表面處理機(jī)plasma

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為了實(shí)現(xiàn)銅薄膜的低溫沉積除了使用還原性更強(qiáng)的二乙基鋅、三甲基鋁以替代氫與銅前驅(qū)體反應(yīng)外(該反應(yīng)體系盡管可以降低沉積溫度,但是容易引入鋅、鋁等雜質(zhì)導(dǎo)致銅薄膜性能降低)更為常用的方法是在熱ALD的基礎(chǔ)上引入等離子體技術(shù)以降低沉積溫度。Moon 等131以Cu( dmamb) 2作為銅前驅(qū)體,使用氫氣等離子體技術(shù),在 ~180C沉積范圍內(nèi)制備了銅薄膜。

等離子表面處理機(jī)plasma

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通過等離子清洗機(jī)的表面處理,能夠改善材料表面的潤(rùn)濕能力,使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、涂鍍等操作,增強(qiáng)粘合力、鍵合力,同時(shí)去除有機(jī)污染物、油污或油脂, 等離子清洗機(jī)(Plasma Cleaner)又被稱為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、等離子清洗系統(tǒng)等。

這種涂層提高了顯示器的耐刮擦性,并提高了由 PC(聚碳酸酯)和 PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)制成的顯示器表面的質(zhì)量。必須對(duì)表面進(jìn)行預(yù)處理,以確保該涂層具有良好的附著力。采用低溫等離子技術(shù)進(jìn)行表面處理可以簡(jiǎn)化顯示器制造的工藝流程并顯著降低廢品率。液晶顯示器總成LCD 顯示組件在許多工藝中都需要等離子處理技術(shù)的配合,例如玻璃基板的氣相沉積和 ITO 薄膜的濺射。清潔很困難,因?yàn)椴AП砻婧芘K。

機(jī)器作用于材料表面時(shí),所產(chǎn)生的正負(fù)等離子體能夠?qū)?a href="/dingzhi/LED-zhi-jia.html" target="_blank">LED材料表面進(jìn)行化學(xué)清洗和物理清洗。實(shí)現(xiàn)分子級(jí)別的污染物清(除),清(除)了有(機(jī))物,氧化物,環(huán)氧樹脂,微小顆粒物等表面污染物。等離子表面處理機(jī)產(chǎn)生的等離子體對(duì)PPPE等塑料處理時(shí),通過表面活(化)、表面刻蝕、表面接枝、表面聚合等形式,將需要粘接的部位預(yù)處理,把非極性材料(活)化,從而確保膠水的可靠粘接和長(zhǎng)期密封。

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示例:H2 + e- → 2H * + eH * + 非揮發(fā)性金屬氧化物 → 金屬 + H2O從反應(yīng)方程式可以看出,等離子表面處理機(jī)plasma氫等離子體可以去除金屬表面的氧化層,清潔金屬表面?;瘜W(xué)反應(yīng)。物理清洗:表面反應(yīng)以物理反應(yīng)為主的等離子清洗。也稱為濺射蝕刻 (SPE)。