因此，電容耦合等離子體與電感耦合等離子體我們經(jīng)常聽(tīng)到“電容不止于電容”的說(shuō)法。實(shí)際的電容器總是有一個(gè)寄生電容，它在低頻時(shí)并不重要，但在高頻時(shí)它可以超過(guò)電容本身。隨磁場(chǎng)能量變化的角度很容易理解，當(dāng)電流變化時(shí)，磁場(chǎng)能量也會(huì)發(fā)生變化，但由于電感的特性，無(wú)法進(jìn)行能量跳躍。電容電流的變化可以在一定程度上延遲，增加電感可以提高電容的充/放電阻抗，延長(zhǎng)整個(gè)電源的響應(yīng)時(shí)間。固有頻率是區(qū)分諧振和電容兼容性以及電感的分界點(diǎn)。

處理聚四氟乙烯板，電容耦合的等離子體增加鍍層粘接強(qiáng)度；處理板的表面，以增加干燥，提高薄膜焊面粘接力；在焊接區(qū)去除殘留敷行涂覆，（等離子體清洗機(jī)）以增加粘接和可焊性。在軟性或硬性電路板中，在層壓前清潔聚合物內(nèi)層面，提高粘接性。清潔金觸點(diǎn)，以提高線材粘接強(qiáng)力；接觸點(diǎn)進(jìn)行脫氧。（等離子體清洗機(jī)）在封裝前或聚對(duì)二苯基涂層前，將電子部件進(jìn)行激活。在鍍銅加工前，將絕緣膜電容進(jìn)行處理。等離子體處理，對(duì)印刷板的孔徑和厚度的比例是無(wú)限制的。

但是穩(wěn)壓電源不能很快響應(yīng)負(fù)載電流的變化，電容耦合的等離子體因此，I0電流不能立即滿足負(fù)載瞬態(tài)電流的要求，因此負(fù)載芯片的電壓會(huì)下降。但是由于電容電壓與負(fù)載電壓相同，因此在電容兩頭都存在電壓變化。就電容而言，電壓變化必然會(huì)產(chǎn)生電流，此時(shí)電容對(duì)負(fù)載放電，電流Ic不再是0，電流供給負(fù)載芯片。如果電容C滿足較大的要求，并且電壓變化很小，電容就能滿足較大的電流，滿足負(fù)載態(tài)電流的要求。

.. , 由于空氣電容不能正常工作，電容耦合的等離子體射頻輸出阻抗無(wú)法調(diào)節(jié)，三極管失效。另外，如果在使用 matcher 時(shí)沒(méi)有正確調(diào)整初始值，則會(huì)出現(xiàn)匹配時(shí)間。時(shí)間過(guò)長(zhǎng)或具有發(fā)光的真空腔的不穩(wěn)定放電會(huì)損壞晶體管。二、matcher日常使用注意事項(xiàng)在射頻真空等離子設(shè)備的日常使用中，注意匹配器的日常檢查，有助于延長(zhǎng)匹配器的使用壽命，降低故障率。

電容耦合的等離子體

根據(jù)以上特點(diǎn)，可以先觀察電路板上的低阻電阻是否有燒黑的痕跡，然后根據(jù)大部分電阻是開(kāi)路還是根據(jù)電阻來(lái)判斷。當(dāng)電阻損壞時(shí)，值增加，高電阻值損壞。因?yàn)殡娮枞菀讚p壞，所以可以用萬(wàn)用表直接測(cè)量電路板上高阻電阻兩端的阻值。如果測(cè)得的電阻大于標(biāo)稱電阻，肯定會(huì)損壞電阻（注意數(shù)值顯示穩(wěn)定后等阻）。有充放電過(guò)程，因?yàn)殡娐分锌赡艽嬖诓⒙?lián)電容元件），所以如果測(cè)得的電阻小于標(biāo)稱電阻，通常忽略。這樣，電路板上的所有電阻都被重新測(cè)量。

圖1 電容耦合等離子體放電現(xiàn)象蝕刻過(guò)程中復(fù)雜的物理和化學(xué)反應(yīng)使得難以解釋不同中性粒子和帶電粒子之間的電場(chǎng)（電場(chǎng)、流場(chǎng)、力場(chǎng)等），等離子體蝕刻。還有一篇文章為初學(xué)者簡(jiǎn)單介紹了等離子刻蝕的主要工藝，但對(duì)原理的解釋非常有限。

真空等離子體設(shè)備清洗產(chǎn)品前必須要做的準(zhǔn)備有哪些？一、真空等離子體設(shè)備的工作原理真空等離子體設(shè)備以氣體為清理介質(zhì)，能有效地避免液體清理介質(zhì)對(duì)清理物件的再次污染。利用外接進(jìn)口真空泵，清理腔體內(nèi)的等離子體沖刷待清理物件的的表面，可以在短時(shí)間內(nèi)徹底清理有(機(jī))污染物。同時(shí)污染物被進(jìn)口真空泵抽走，從而達(dá)到清理的目的。在特定的環(huán)境中，其屬性可以根據(jù)不同的產(chǎn)品的表面而改變。

等離子表面處理設(shè)備的發(fā)明，不僅提高了設(shè)備??的效率和生產(chǎn)率，而且達(dá)到了安全、環(huán)保的目的。該設(shè)備可用于材料科學(xué)、聚合物科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)材料科學(xué)、微流體研究、微機(jī)電系統(tǒng)、光學(xué)、微技術(shù)、牙科和其他學(xué)科。鑒于其普遍適用范圍和顯著改進(jìn)空間，外來(lái)等離子體表面處理技術(shù)也取得了快速進(jìn)展。 2008年等離子表面處理設(shè)備的國(guó)民生產(chǎn)總值達(dá)到3000億元。消費(fèi)者對(duì)品質(zhì)的要求越來(lái)越高。

電容耦合等離子體與電感耦合等離子體

此外，電容耦合的等離子體航空制造等離子清洗技術(shù)不分處理對(duì)象的基材類型，對(duì)半導(dǎo)體、金屬及大部分聚合物都有良好的處理效果，并能實(shí)現(xiàn)整體、局部及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗。該航空制造領(lǐng)域清洗技術(shù)易于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化和數(shù)字化流程，可裝配高精度控制設(shè)備，時(shí)間控制準(zhǔn)確，具有記憶功能等。正因?yàn)榈入x子體清洗技術(shù)具有操作簡(jiǎn)單、精準(zhǔn)控制等顯著的優(yōu)點(diǎn)，才被廣泛應(yīng)用于電子電氣、材料表面改性和活化等諸多領(lǐng)域。

原子團(tuán)等自由基與物體表面的反應(yīng) 由于這些自由基呈電中性，電容耦合等離子體與電感耦合等離子體存在壽命較長(zhǎng)，而且在等離子體中的數(shù)量多于離子，因此自由基在等離子體中發(fā)揮著重要的作用。