由于閾值電壓的降低，電暈處理機(jī)的技術(shù)提高了HEMT器件的飽和電流和跨導(dǎo)，實(shí)驗(yàn)值與理論值一致。經(jīng)電暈清洗設(shè)備氧電暈處理后，樣品的a和Va均有所下降。從而提高了器件的飽和傳導(dǎo)電流，改善了器件的電特性。HEMT中對AlGaN表面進(jìn)行氧電暈處理，可以有效降低器件電壓，提高器件飽和區(qū)電流，改善器件大跨導(dǎo)，可有效應(yīng)用于高性能GaNHEMT器件的制備。。

不同氣體的電暈具有不同的性質(zhì)，電暈處理機(jī)的技術(shù)如氧電暈氧化性高，可氧化光刻膠反應(yīng)產(chǎn)生的氣體，從而達(dá)到清洗效果；刻蝕氣體電暈具有良好的各向異性，因此可以滿足刻蝕的需要。采用電暈處理技術(shù)的真空電暈清洗設(shè)備會產(chǎn)生輝光，故稱輝光放電處理。真空電暈清洗設(shè)備清洗樣品表面并使其活化。通過加入特殊氣體和加工工藝，使樣品達(dá)到親水和疏水的效果。

但需要解決的問題是LCM工藝中存在大量樹脂浸漬纖維，電暈處理機(jī)的技術(shù)產(chǎn)品表面存在空洞和干斑。說明樹脂在纖維表面的潤濕性將直接影響LCM的成型工藝和制品性能?？煽紤]采用電暈清洗技術(shù)，改善纖維表面的理化性能，增加預(yù)制件中纖維的表面自由能，使樹脂在相同工藝條件（壓力場、溫度場等）下充分浸漬纖維表面，提高浸漬均勻性，改善復(fù)合材料液態(tài)模塑的工藝性能。。電暈清洗可用于電子工業(yè)，以提高封裝的附著力。

電暈加工技術(shù)是集成電路芯片制造領(lǐng)域中一項(xiàng)成熟且不可替代的技術(shù)。無論是芯片源離子注入、鍍晶還是低溫電暈設(shè)備，件電暈處理機(jī)薄膜表面處理機(jī)都可以實(shí)現(xiàn)一面超凈化，如去除氧化膜、有機(jī)物、掩膜等。增加濕度。在半導(dǎo)體工業(yè)的生產(chǎn)過程中，硅片上組件表面的感光有機(jī)材料制成的光刻膠是用電暈清洗的。在沉降過程開始前，必須用熱硫酸和過氧化氫溶液或其他有毒有機(jī)溶劑對剩余的光刻膠進(jìn)行清洗脫膠，這樣會造成環(huán)境污染。

電暈處理機(jī)的技術(shù)

它是非固態(tài)、液態(tài)和氣態(tài)。電暈屬于宏觀電中性電離氣體，其啟動運(yùn)動主要受電磁力支配，并表現(xiàn)出明顯的集體行為。低溫電暈的電離率低，電子溫度遠(yuǎn)高于離子溫度，離子溫度甚至可以相當(dāng)于室溫。因此，低溫電暈是非熱平衡電暈。低溫電暈中存在大量活性粒子，它們比普通化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)生的粒子種類更多、活性更強(qiáng)，更容易與材料表面發(fā)生反應(yīng)，因此被用來修飾材料表面。

射頻電暈清洗技術(shù)在DC/DC混合電路生產(chǎn)中有兩種應(yīng)用。第一類主要是去除處理對象表面的異物層，如污染層、氧化層等；第二類主要是改善物體的表面狀態(tài)、表面活性和表面能。去除背面銀芯片硫化物的單層或多層金屬化結(jié)構(gòu)的背面金屬層芯片的表面金屬通常是金和銀。背銀的芯片易發(fā)生銀的硫化氧化，這將直接影響芯片的安裝質(zhì)量。

氧電暈的形成過程可用以下六個(gè)反應(yīng)方程式表示：O2-O2+e(1)O2-2O(2)O2+E-O2+E(3)O2+E-O2+hv+e(4)O2+E-2O+e(5)O2+e--O+O++2E(6)第一個(gè)方程表示氧分子獲得外部能量后變成氧陽離子，釋放自由電子的過程。第二個(gè)方程表示氧分子獲得外部能量后分解形成兩個(gè)氧原子自由基的過程。第三個(gè)方程表明氧分子在高能激發(fā)自由電子的作用下轉(zhuǎn)變?yōu)榧ぐl(fā)態(tài)。

即使隔膜吸堿速率降低，總吸堿速率變化不大。隨著空氣流量的增加，活化電暈狀態(tài)升高，接枝聚合速度加快的丙烯酸較多。因此，聚丙烯隔膜的堿吸收率和堿吸收率逐漸增大。但在放電功率保持不變的情況下，氣體流量的增加導(dǎo)致氣體的高密度，使得單個(gè)帶電粒子的能量變小，同時(shí)對粒子之間的碰撞造成更多的能量損失，這就決定了丙烯酸聚合沉積的作用。

件電暈處理機(jī)薄膜表面處理機(jī)

低溫電暈技術(shù)對釩催化劑載體硅藻泥性能參數(shù)的改性研究；低溫電暈在離子溫度和離子通道方面與高溫電暈不同。低溫電暈的電子運(yùn)動溫度高達(dá)10～10K，件電暈處理機(jī)薄膜表面處理機(jī)而氣體離子和中性離子的溫度接近環(huán)境溫度，遠(yuǎn)低于電子運(yùn)動溫度。因此，低溫電暈又稱為非平衡電暈。低溫電暈可在常溫常壓下生產(chǎn)，工業(yè)應(yīng)用前景廣闊。