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(C, H, O, N) + (O + OF + CO + COF + F + E ...) & RARR; CO2 & UARR; + H2O & UARR; + NO2 + ... 化學(xué)：HF + SI & RARR;SIF+H2HF+SIOSIF+H2O在等離子體化學(xué)反應(yīng)中起化學(xué)作用的粒子主要是陽離子和自由基粒子。

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