清洗通常是指在不破壞材料表面特性及電特性的前提下,有效地清除殘留在材料上的微塵、金屬離子及有機(jī)物雜質(zhì)。目前已廣泛應(yīng)用的物理化學(xué)清洗方法,大致可分為兩類:濕法清洗和干法清洗。微電子工業(yè)中的清洗也同樣是一個(gè)很廣的概念,包括任何與去除污染物有關(guān)的工藝。
濕法清洗在現(xiàn)階段的微電子清洗工藝中還占據(jù)主導(dǎo)地位。但是從對(duì)環(huán)境的影響、原材料的消耗及未來(lái)發(fā)展上看,干法清洗要明顯優(yōu)于濕法清洗。
干法清洗有等離子清洗、紫外光清洗、激光清洗、干冰清洗等等。其中發(fā)展較快、優(yōu)勢(shì)明顯的就是等離子體清洗技術(shù)。目前,等離子體清洗已逐步在半導(dǎo)體制造、微電子封裝、塑料和陶瓷等表面活化、精密機(jī)械等行業(yè)開始普遍應(yīng)用。其獨(dú)特的優(yōu)越性正逐步被國(guó)內(nèi)各行業(yè)所認(rèn)可。
等離子體清洗的機(jī)理
等離子體是部分電離的氣體,是物質(zhì)常見的固體、液體、氣態(tài)以外的第四態(tài)。等離子體由電子、離子、自由基、光子以及其他中性粒子組成。由于等離子體中的電子、離子和自由基等活性粒子的存在,其本身很容易與固體表面發(fā)生反應(yīng)。
等離子體清洗的機(jī)理,主要是依靠等離子體中活性粒子的“活化作用”達(dá)到去除物體表面污漬的目的。就反應(yīng)機(jī)理來(lái)看,等離子體清洗通常包括以下過(guò)程:無(wú)機(jī)氣體被激發(fā)為等離子態(tài);氣相物質(zhì)被吸附在固體表面;被吸附基團(tuán)與固體表面分子反應(yīng)生成產(chǎn)物分子;產(chǎn)物分子解析形成氣相;反應(yīng)殘余物脫離表面。
等離子體清洗技術(shù)的最大特點(diǎn)是不分處理對(duì)象的基材類型,均可進(jìn)行處理,對(duì)金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料,如聚丙烯、聚脂、聚酞亞胺、聚氯乙烷、環(huán)氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地處理,并可實(shí)現(xiàn)整體和局部以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗。
在封裝工藝中的應(yīng)用舉例
在微電子封裝的生產(chǎn)過(guò)程中,由于指印、助焊劑、各種交叉污染、自然氧化等,器件和材料表面會(huì)形成各種沾污,包括有機(jī)物、環(huán)氧樹脂、光刻膠、焊料、金屬鹽等。這些沾污會(huì)明顯地影響封裝生產(chǎn)過(guò)程中的相關(guān)工藝質(zhì)量。使用等離子體清洗可以很容易清除掉生產(chǎn)過(guò)程中所形成的這些分子水平的污染,保證工件表面原子與即將附著材料的原子之間緊密接觸,從而有效地提高引線鍵合強(qiáng)度,改善芯片粘接質(zhì)量,減少封裝漏氣率,提高元器件的性能、成品率和可靠性。國(guó)內(nèi)某單位在鋁絲鍵合前采用等離子體清洗后,鍵合成品率提高10%,鍵合強(qiáng)度一致...

PCB印刷電路進(jìn)行等離子清洗處理的作用與重要性，可除膠可清潔表面，去掉光刻膠

等離子表面處理機(jī)在PCB制程中扮演了關(guān)鍵的角色，它有助于提高了電路板的質(zhì)量、可靠性和性能。這對(duì)于電子制造和各種應(yīng)用中的PCB制程都非常重要。 ...

1、物理清洗方式分為濕法清洗和plasma設(shè)備干法清洗

在微電子工業(yè)中，清潔是一個(gè)普遍的概念，它包括了所有與污染物清除相關(guān)的過(guò)程。一般是指在不破壞數(shù)據(jù)表面特性和電特性的前提下，有效地清除數(shù)據(jù)表面殘余的塵埃、金屬離子和有機(jī)物雜質(zhì)?，F(xiàn)階段普遍采取的物理學(xué)清洗方式，大概可以分成2種：濕法清洗和plasma干法清洗?，F(xiàn)階段，濕洗仍占微電子清洗工藝的主導(dǎo)地位。但從...

2、表面改性可分為哪幾類（表面改性的工藝干法工藝）

采用常壓He輝光放電等離子體法對(duì)聚丙烯非織造布進(jìn)行表面處理，表面改性可分為哪幾類結(jié)果表明，表面形貌的變化與織物的抗張強(qiáng)度、應(yīng)力性能、空氣的滲透性、潤(rùn)濕性等因素有關(guān)。。本實(shí)用新型將等離子清洗機(jī)與自動(dòng)點(diǎn)膠機(jī)相結(jié)合，表面改性的工藝干法工藝將等離子表面處理與點(diǎn)膠技術(shù)相結(jié)合，等離子清洗點(diǎn)膠機(jī)已經(jīng)在越來(lái)越多的實(shí)...

3、表面改性工藝干法工藝（三氧化鎢表面改性防團(tuán)聚）

然而，表面改性工藝干法工藝由于產(chǎn)品要求的不斷提高，磨削工藝未能滿足工信部和歐洲汽車生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)的要求。等離子處理器用于汽車密封膠帶的表面處理：使用低溫等。離子處理器等離子技術(shù)用于各種汽車密封條的表面處理，測(cè)試后表面能可超過(guò)80達(dá)因/厘米。拋光或涂覆聚酯的過(guò)程可以在沒(méi)有底漆的情況下去除，并且可以擠出或植絨...

4、高溫表面改性（干法高溫表面改性試驗(yàn)裝置）碳纖維高溫表面改性

氧化物等離子涂層技術(shù)在我們的生活中有何反應(yīng)？這種材料除了具有鋁塑復(fù)合材料的阻隔性能外，碳纖維高溫表面改性還具有優(yōu)異的微波傳輸性能、耐高溫、透明、低環(huán)境溫度和濕度效果等優(yōu)點(diǎn)。也叫透明涂層，因?yàn)樗怯貌Ａ堪b的，長(zhǎng)期存放沒(méi)有異味，或者經(jīng)過(guò)高溫處理?？蓮V泛用于食品、藥品、化妝品、醫(yī)療器械、其他包裝安全（...