型 號 | JL-VM30 | ||
等離子源系統(tǒng) | 頻 率 | 13.56MHz 射頻 | |
功 率 | 300W可調(diào) | ||
真空系統(tǒng) | 真空腔體 | 材質(zhì) | 航空鋁 |
腔體內(nèi)部尺寸 | 400*300*300mm（寬*深*高） | ||
托盤有效尺寸 | 320*180mm | ||
物料托盤層數(shù) | 4層托盤、可拆卸式 | ||
腔體容積 | 30L | ||
密封性 | 軍工級焊接密封 | ||
泵 | 真空泵 | 油泵/干泵 | |
真空管路 | 不銹鋼管、不銹鋼波紋管 | ||
真空計 | 1*105~1*10-1Pa | ||
質(zhì)量流量計 | ＜±1% FS | ||
氣路控制 | 標配2路（可定制） | ||
真空度 | 5Pa-30ppa | ||
適用氣體 | 流量范圍 | 0-500SCCM（可調(diào)） | |
工藝氣體 | Ar、N?、O?、H?等等（可選） | ||
外觀參數(shù) | 外形尺寸 | 640*750*1700mm （寬*深*高） | |
重 量 | 280kg | ||
設施配置 | 電 力 | 五線線三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設計規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設計規(guī)范》等國標標準相關規(guī)定 | |
